冲成股份有限公司

2025.05.06

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精密製程的關鍵夥伴|沖成股份有限公司的晶圓解決方案
在半導體產業快速演進的今天,晶圓製程的每個環節都影響產品的良率與效能。從晶圓的研磨減薄,到表面粗糙度的控制,再到厚度的精密量測,都是製程穩定與產品可靠性的關鍵指標。沖成股份有限公司憑藉多年深耕半導體設備領域的技術實力,致力於提供一站式的晶圓加工與量測解決方案,協助客戶在競爭激烈的市場中脫穎而出。



晶圓表面粗糙度|掌握微米世界的關鍵指標
在晶圓製程中,表面粗糙度(Surface Roughness, Ra)是影響後續製程穩定性的關鍵因素。太粗糙會造成接觸不良、導電不穩定;太光滑則可能導致薄膜附著力不足。沖成股份有限公司引進高靈敏度的晶圓表面粗糙度量測系統,搭載光學干涉與AFM技術,能準確分析奈米等級的表面變化,讓製程工程師即時掌握拋光或蝕刻後的品質狀況。

§特點包含:

1.非接觸式高精度量測

2.支援各尺寸晶圓(6~12吋)

3.自動化掃描與數據報告匯出

4.可整合至產線自動檢測流程

這些系統能有效預測潛在瑕疵點,避免後段製程的失效,提升整體製程良率。



晶圓減薄研磨機|超薄化需求的精密利器
隨著封裝技術演進,如3D IC與Fan-out封裝的普及,對晶圓厚度的要求越來越薄,甚至可達50微米以下。沖成股份有限公司自主研發的晶圓減薄研磨機,採用多段壓控研磨技術與智慧控制模組,可依晶圓材質與應用需求進行客製化設定,兼顧效率、精度與良率。

§核心優勢:

◎多階段研磨與拋光工序整合

◎高轉速伺服馬達穩定輸出

◎雙側感測即時厚度監控

◎自動換片與排屑系統,提高產能

此設備廣泛應用於MEMS感測器晶片、功率元件晶片等需要極薄化處理的應用領域,是先進製程不可或缺的核心工具。



晶圓厚度量測儀|從微米到奈米的精密監控
在晶圓加工過程中,厚度控制不僅關乎機械強度,也影響後續封裝與堆疊的精準度。沖成股份有限公司提供的晶圓厚度量測儀,整合多波段光學干涉技術與高頻感測元件,能對整片晶圓進行非破壞性量測,並提供高達±0.1μm的精度,滿足先進製程的嚴苛要求。

§應用亮點:

△單點與多點厚度掃描模式

△可支援不同基板材質(Si、GaN、Sapphire等)

△與MES系統整合,數據即時上傳

△檢測速度快,適用大規模生產線

不論是減薄後的晶圓,或是層間堆疊需求的檢測,皆能藉由這套設備準確掌控。



為何選擇冲成股份有限公司?
沖成股份有限公司深知,每一台設備都是客戶製程成功的關鍵,我們提供的不只是硬體,而是一套完善的技術服務與合作方案。

§我們的優勢:

○台灣在地技術團隊,快速回應

○量身訂做整合方案,支援產線導入

○完善售後服務,提供教育訓練與技術支援

○持續創新,與產業共同成長

從晶圓表面粗糙度的掌握、晶圓減薄的精準加工,到厚度的即時量測,沖成股份有限公司陪伴您從設計走向量產,穩健踏出每一步。



結語|讓精度創造競爭力
半導體產業的競爭來自於技術的細節與製程的嚴謹,而這正是沖成股份有限公司所重視的價值。我們相信,掌握晶圓的每一個微小變化,就能創造巨大的製程優勢。