2025.05.06
最新消息為什麼晶圓表面缺陷檢查成為半導體製造的核心技術?
隨著科技快速發展,晶片設計越來越微型化,晶圓表面品質的重要性也日益提升。在半導體製程中,晶圓表面缺陷會直接影響晶片良率、性能與可靠度,成為製程不可忽視的瓶頸。
晶圓在經歷多次光蝕刻、化學機械研磨(CMP)與金屬沉積等步驟後,極容易產生細微的刮痕、污染物或凹凸不平等表面缺陷。這些肉眼難以察覺的微觀異常,可能導致後續接觸點失效或導電路徑中斷,造成產品報廢。
因此,導入高精度的晶圓表面缺陷檢查系統,已成為半導體先進製程的必要設備。
沖成股份有限公司:提供先進晶圓檢測與減薄研磨整合方案
作為深耕半導體製程設備領域多年的企業,冲成股份有限公司致力於提供高效率、高精密的製程設備,其中包含兩大核心技術:晶圓表面缺陷檢查與檢查晶圓減薄研磨機。
我們不僅代理與研發先進設備,更提供完善的應用技術支援,協助客戶建構最適化製程方案,有效提升產品良率與生產效率。
什麼是晶圓減薄研磨機?為什麼它對製程如此重要?
晶圓減薄研磨機是一種專為晶圓背面減薄而設計的設備。隨著終端應用(如智慧型手機、可穿戴裝置、車用晶片)對晶片體積與散熱效率的需求增加,晶圓的厚度必須減薄至極限(如100μm甚至更薄)。
減薄晶圓除了節省空間,還能降低封裝厚度並強化散熱性能。但在減薄過程中,晶圓本身變得更加脆弱,因此對研磨機的精度與穩定性要求極高。不良研磨將導致表面刮痕、裂痕,進而降低成品良率。
冲成股份有限公司引進高性能減薄研磨技術,配備全自動對位與壓力控制系統,確保在極薄厚度下仍維持絕佳表面平整度與低應力,加速量產製程。
晶圓表面缺陷檢查與減薄研磨機的整合應用
許多先進製程廠商已意識到,整合檢查與減薄設備能大幅縮短工序時間並減少人為搬運風險。冲成股份有限公司推出整合型製程解決方案:
●即時表面缺陷檢查模組
透過雷射掃描與AI影像辨識,即時發現晶圓表面缺陷(刮痕、異物、裂紋)。
●自動化減薄研磨系統
精準控制研磨深度與壓力,並搭配表面平整度即時監控,提高製程穩定性。
●一站式資料追蹤與分析系統
整合MES(製造執行系統),提供製程數據記錄,便於良率分析與問題追溯。
這些整合設計,讓製造流程更流暢,設備間無縫銜接,為客戶節省成本、提升良率。
冲成股份有限公司的優勢
◆多年實務經驗:服務多家知名晶圓廠與封裝測試廠,了解產線實際痛點。
◆客製化解決方案:針對不同晶圓尺寸、材質與應用需求,量身設計設備配置。
◆快速售後支援:在地技術團隊提供即時維護與技術支援,確保產線不間斷。
◆與國際技術接軌:與日本、德國等先進設備商策略合作,導入全球最新檢測與研磨技術。
結語:晶圓製程升級的最佳夥伴
在先進製程日益精細的時代,每一顆晶片都蘊含著巨大價值。晶圓表面缺陷檢查與晶圓減薄研磨機的精準控制,正是確保產品品質與良率的基石。冲成股份有限公司將持續以高效設備與技術創新,協助半導體產業邁向更高品質與更低成本的製造目標。